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Technologies de l'information et de la communication

Micro-Nano systèmes

Publié le 24 avril 2017

 

NOS COMPÉTENCES

Les fabricants de micro et nano systèmes électromécaniques (MEMS et NEMS) doivent relever le défi permanent de la faible consommation énergétique des puces, mais également se confronter au coût de fabrication de leurs composants clés.
Bénéficiant de 35 ans d’expérience dans le domaine des MEMS, le Leti, institut de CEA Tech, est l’un des plus importants laboratoires mondiaux dans ce domaine, et affiche un très grand nombre de transferts industriels.
Il offre, de fait, une palette d’activités très large couvrant toute la chaine de développement des MEMS et des NEMS : capteurs, actionneurs, composants RF, intégration 3D  et enfin, caractérisation et études de fiabilité spécifiques.
Emblématique du laboratoire, la technologie M&NEMS permet de combiner sur un même capteur des nano-objets (nanofils piézorésistifs) et des MEMS. Elle est une voie à la réduction des coûts de production car elle permet de réaliser des dispositifs plus petits que les MEMS classiques à détection capacitive.

NOS MOYENS

PLATE-FORME​​ Microsystèmes 200mm et 300mm
NOS TRAVAUX