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NOS SUCCÈS - LETI INNOVATION STORIES

 Condensateur miniature- muRata

Publié le 31 octobre 2018

 

Un condensateur miniature pour veiller sur le cœur 

Les derniers condensateurs d’IPDiA battent tous les records de miniaturisation (quelques millimètres carrés), de stabilité et de fiabilité, pour les besoins d’une fonction vitale : ils équipent des pace-makers, et garantissent que le cœur du patient implanté reçoit un signal électrique parfaitement régulier. Autre application : la stimulation cérébrale profonde de patients atteints de la maladie de Parkinson.

LA TECHNOLOGIE

Le Leti, institut de CEA Tech, a contribué à la miniaturisation du condensateur en travaillant avec les équipes d’IPDiA, pour substituer au diélectrique d’origine un matériau avec une constante diélectrique Ɛ trois fois plus élevée. Toutefois, ce nouveau matériau ne pouvait supporter des températures supérieures à 400°C (contre 800°C précédemment) et plusieurs étapes du procédé ont été modifiées en conséquence.

La gravure du diélectrique, son dépôt par procédé ALD* et la mise au point de couches barrière ont été les étapes majeures du projet. De plus, il fallait déposer le nouveau matériau dans des structures 3D ayant un rapport de forme hors normes ; le Leti s’est tourné vers l’un de ses partenaires, l’institut allemand ­Fraunhofer. Le condensateur atteint une capacité record de 500 nF /­ mm².

contact : laetitia.omnes@murata.com

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