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MEMS à détection de mouvements - tronics

Publié le 31 octobre 2018

 

Jouez sur votre smartphone, ils s’occupent de tout.

Si vous pouvez jouer sur votre smartphone et si l’image pivote quand vous le tournez d’un quart de tour, c’est parce que de minuscules capteurs placés dans l’appareil détectent chacun de vos mouvements. La dernière puce de Tronics réussit l’exploit d’en réunir six (trois accéléromètres, trois gyromètres) sur une puce d’un millimètre d’épaisseur et de quatre millimètres carrés de surface, entièrement réalisée en silicium : une première mondiale.

LA TECHNOLOGIE

Pour réaliser cette puce, le Leti a mis au point un concept révolutionnaire de détection du mouvement dans les MEMS. Il a fait l’objet de plus de quinze brevets. Il repose sur un nanofil suspendu de silicium piézorésistif, de quelques microns de long et de 250 nanomètres de section. Ce mode de détection innovant permet une forte amplification du signal, pour une consommation électrique très faible.

Atout supplémentaire, ce principe de détection est applicable à tous types de capteurs : accéléromètres et gyromètres, mais aussi capteurs de pression, magnétomètres, microphones…

Divers capteurs peuvent être intégrés sur la même puce grâce à un procédé silicium utilisé en routine par les industriels des MEMS ; ceci sans recours à une étape d’assemblage hybride comme c’est le cas actuellement.

contact : stephane.renard@tronicsgroup.com

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