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Accéléromètre Harmens - NXP

Publié le 5 novembre 2018

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Pour des voitures vraiment plus sûres

Pourquoi un airbag se déclenche-t-il en cas de collision, et non quand on roule sur un chemin cahoteux ou qu’on claque violemment une portière ? Réponse : parce qu’il est équipé d’un accéléromètre qui donne l’alerte à bon escient, en écartant les vibrations induites par les événements anodins… L’accéléromètre Harmens de NXP fait figure de référence sur ce marché. À ce jour, il a été produit à plus de 350 millions d’exemplaires.


La technologie :

NXP et le Leti collaborent depuis 2001 et plusieurs générations d’accéléromètres Harmens se sont succédées au fil des années. Leurs atouts de base n’ont pas changé  : un excellent ratio signal/bruit et une réponse mécanique sur-amortie qui garantissent leur immunité vis-à-vis des vibrations propres aux habitacles automobiles, une grande fiabilité et un faible prix de revient.

Alors que la plupart des MEMS sont constitués de couches minces et ne dépassent pas 3 µm d’épaisseur, Harmens est réalisé par un autre procédé et affiche 25 µm. En creusant le silicium, il devient possible de dégager une masse mobile de taille significative, et donc de détecter les accélérations avec une meilleure sensibilité. De plus, Harmens est constitué de silicium monocristallin. Ce matériau pur à plus de 99,99  % garantit des propriétés mécaniques parfaitement reproductibles, clé de la fiabilité du capteur.

Harmens a été conçu dès le départ pour être fabriqué en grand volume. Le Leti a accompagné le transfert de chaque nouvelle génération sur les lignes de production de NXP.

Contact : jean-philippe.polizzi@cea.fr


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